漢鐘精機-P-PS系列

PS 系列乾式螺旋真空泵

真空泵浦 (Vacuum Pump)也可寫為真空幫浦或是真空泵浦。漢鐘精機PS系列乾式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子，在轉子間維持微小的間隙，使得真空泵浦運轉時腔體內無需潤滑，因而無油氣回漏污染的問題。透過專利轉子線形良好的密封效果，終極壓力可達7.5 × 10-3 Torr (搭上魯式泵浦可達7.5 × 10-4 Torr)。螺旋式真空泵浦由於排氣路徑短，粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強，加上轉子表面披覆特殊材質的鍍層，因此可適用於各類嚴苛製程

泵浦溫度控制精準
乾式螺旋真空泵浦，承襲上一代真空泵浦優良的轉子設計，同時改善殼體的冷卻方式，採用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度，能夠更精準地控制泵浦內部溫度，減少沉積物的產生，增加真空泵浦的壽命

密封馬達安全性高
真空泵浦亦全面採用專利設計的水冷罐裝密封馬達，除了能維持更低的馬達運轉溫度增加馬達的壽命外，也可完全避免製程氣體外漏的風險

微電腦控制保護周全
真空泵浦亦可配備微電腦控制器，可同時監控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低，提供真空泵浦完整的安全性保護，十分適用於光電、半導體、太陽能與TFT-LCD等產品穩定性要求極高之產業

專利轉子線型設計
利用螺旋轉子的流體傳輸特性，搭配轉子線型專利設計，可於運轉中有效防止氣體回漏，適合各種嚴苛製程

以下為漢鐘精機股份有限公司所提供的乾式真空泵浦的型號種類

PS系列乾式螺旋真空泵浦 S／N型為無罩式的乾式螺旋真空泵浦機型

		乾式螺旋真空泵浦 S／N型的型號有： PS-80、PS-160、PS-180、PS-602、PS-902、PS-1302、PS-1802 PS系列乾式螺旋真空泵浦 S／N型的特色有：抽氣速度：1600 ~ 30000 L/Min 終極壓力：7.5 x 10-3 ~ 7.5 x 10-4 Torr 選配中央監控系統，預防真空泵浦不正常停機選配變頻及人性化操控介面適用於一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、食品、化學工業應用
PS系列乾式螺旋真空泵浦 S／N型之機型分類及其適用解說

機型	適用產業
PS-80-S PS-160-S PS-180-S PS-602-S PS-902-S PS-1302-S	一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、食品、化學工業應用 (簡易泵浦)
PS-80-N PS-160-N PS-180-N PS-602-N PS-902-N PS-1302-N PS-1802-N	一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、食品、化學工業應用 (選配電控泵浦)

PS系列乾式螺旋真空泵浦 A／H型為有罩式的乾式螺旋真空泵浦機型

		乾式螺旋真空泵浦 A／H型的型號有： PS-80、PS-160、PS-180、PS-602、PS-902、PS-1302、PS-1802等 PS系列乾式螺旋真空泵浦 A／H型的特色有：抽氣速度：1600 ~ 30000 L/Min 終極壓力：7.5 x 10-3 ~ 7.5 x 10-4 Torr 整合式氮氣加熱系統，減少氣體沉積，延長保養週期及壽命中央監控系統，預防真空泵浦不正常停機適用於半導體、TFT-LCD、LED等光電產業、太陽能、熱處理應用
PS系列乾式螺旋真空泵浦 A／H型之機型分類及其適用解說

機型	適用產業
PS-80-A PS-160-A PS-180-A PS-602-A PS-902-A PS-1302-A PS-1802-A	半導體、TFT/LCD、LED與太陽能電池產業 (電控整合泵浦)
PS-80-H PS-160-H PS-180-H PS-602-H PS-1302-H PS-1308-H	半導體、TFT/LCD、LED與太陽能電池產業 (高溫泵浦)

配合各產業客戶需求，PS 系列真空泵皆可選用氣冷馬達 (PSE系列) 或是防爆馬達 (PSC系列) 搭配