汉钟精机-P-PS系列

PS 系列干式螺旋真空泵

真空泵浦 (Vacuum Pump)也可写为真空帮浦或是真空泵浦。汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一对互相咬合的螺旋转子，在转子间维持微小的间隙，使得真空泵浦运转时腔体内无需润滑，因而无油气回漏污染的问题。透过专利转子线形良好的密封效果，终极压力可达7.5 × 10-3 Torr (搭上鲁式泵浦可达7.5 × 10-4 Torr)。螺旋式真空泵浦由于排气路径短，粉尘移除能力较其他型式的真空泵浦强，加上转子表面披覆特殊材质的镀层，因此可适用于各类严苛制程

泵浦温度控制精准
干式螺旋真空泵浦，承袭上一代真空泵浦优良的转子设计，同时改善壳体的冷却方式，采用水套间接水冷的方式来降低壳体的温度，能够更精准地控制泵浦内部温度，减少沉积物的产生，增加真空泵浦的寿命

密封马达安全性高
真空泵浦亦全面采用专利设计的水冷罐装密封马达，除了能维持更低的马达运转温度增加马达的寿命外，也可完全避免制程气体外漏的风险

微电脑控制保护周全
真空泵浦亦可配备微电脑控制器，可同时监控马达电流、马达温度、壳体温度、冷却水流量、氮气流量以及齿轮箱油位高低，提供真空泵浦完整的安全性保护，十分适用于光电、半导体、太阳能与TFT-LCD等产品稳定性要求极高之产业

专利转子线型设计
利用螺旋转子的流体传输特性，搭配转子线型专利设计，可于运转中有效防止气体回漏，适合各种严苛制程

以下为汉钟精机股份有限公司所提供的干式真空泵浦的型号种类

PS系列干式螺旋真空泵浦 S／N型为无罩式的干式螺旋真空泵浦机型

		干式螺旋真空泵浦 S／N型的型号有： PS-80、PS-160、PS-180、PS-602、PS-902、PS-1302、PS-1802 PS系列干式螺旋真空泵浦 S／N型的特色有：抽气速度：1600 ~ 30000 L/Min 终极压力：7.5 x 10-3 ~ 7.5 x 10-4 Torr 选配中央监控系统，预防真空泵浦不正常停机选配变频及人性化操控介面适用于一般真空镀膜、烤箱、热处理、食品、化学工业应用
PS系列干式螺旋真空泵浦 S／N型之机型分类及其适用解说

机型	适用产业
PS-80-S PS-160-S PS-180-S PS-602-S PS-902-S PS-1302-S	一般真空镀膜、烤箱、热处理、食品、化学工业应用 (简易泵浦)
PS-80-N PS-160-N PS-180-N PS-602-N PS-902-N PS-1302-N PS-1802-N	一般真空镀膜、烤箱、热处理、食品、化学工业应用 (选配电控泵浦)

PS系列干式螺旋真空泵浦 A／H型为有罩式的干式螺旋真空泵浦机型

		干式螺旋真空泵浦 A／H型的型号有： PS-80、PS-160、PS-180、PS-602、PS-902、PS-1302、PS-1802等 PS系列干式螺旋真空泵浦 A／H型的特色有：抽气速度：1600 ~ 30000 L/Min 终极压力：7.5 x 10-3 ~ 7.5 x 10-4 Torr 整合式氮气加热系统，减少气体沉积，延长保养周期及寿命中央监控系统，预防真空泵浦不正常停机适用于半导体、TFT-LCD、LED等光电产业、太阳能、热处理应用
PS系列干式螺旋真空泵浦 A／H型之机型分类及其适用解说

机型	适用产业
PS-80-A PS-160-A PS-180-A PS-602-A PS-902-A PS-1302-A PS-1802-A	半导体、TFT/LCD、LED与太阳能电池产业 (电控整合泵浦)
PS-80-H PS-160-H PS-180-H PS-602-H PS-1302-H PS-1308-H	半导体、TFT/LCD、LED与太阳能电池产业 (高温泵浦)

配合各产业客户需求，PS 系列真空泵皆可选用气冷马达 (PSE系列) 或是防爆马达 (PSC系列) 搭配